“……”
技术员🔶🅉🄫们非常专注,每出现一个数据☱🃊就会把情况如实汇🙷报。
通过他们一番比对下来,这台光刻机主体系统🖺🗧的数据和原🕤始测试数据没🇶🝂🈙发生变化。这事有点蹊跷了!
另一边,郝宁教授的🎉团队已经完♨成了激光光源的能量测试流程🌝,一切也正常。
不但如此,他们已经完成了第一遍激光光⚏🐘⛮源的光谱测试🙷,激光在空气中的散🎺🖍👚光度误差很小,在正常范围之内。
由此看来,米国佬的这♎台激光光源系统没有质量问题,性能⚇🏓🙨非常稳定。
看到这一幕🛃🙫,梁宋松也有点傻眼了,“两⚏🐘⛮套系统单体测试都很正常,组装总成以后出现质量缺陷。这🚑是什么鬼情况?”
“这🞍…这事有点邪门啊♎!”万宁古此时也有点懵,两手一摊,看着许振鸣苦笑,并且直摇头。
今天中午饭的时候,他得到梁宋松的提醒,灵感咋现,其实已经初步判断出这台光刻机的故障所在。按照他的设🅡🟒想,米☤国产的激光光路系统肯定没问题,国产的光刻机主体系统肯定有问题。
但现在一番🛃🙫检测下来,这两台设备的情况都很正常,问题到底在哪里?
“两台设备单体都正常,组装在一起就不正常。在组装的时候,我们做过哪些改⚣📌动程序?”
这时,许振鸣慢慢的蹲下身子,目🉤🉑光落在光刻机主体系统的接驳机构处。他的意思很明确,就是这个接驳机构出了问题。
“想想也是,我觉得应该🝤是两台设备的接驳组装机构出了故障。”郝宁教授朝许振👸鸣这边看了过来,说出自己的猜想。
“不可能!我们这🚵🗲台光刻机的接驳机构是用集团公司最先进的加工中心制造的,加👸工精度🃈🕳能保证。”万宁古一边说话,一边也跟着半蹲了下来。
这时候,梁宋松有点懵懵🝤的。💣出于自信,他随口就否定了万宁古的判断,“怎么不可能?我们集🔳🄯🁆团公司的机械制造水平要比米国佬差了两代左右,加工精度怎么能保障?依我看,就是这台光刻机主体系统的接驳机构有问题。”
“咱们不能随便乱说,要用实💣验数据来说话。”万宁古不认输,用手指摸了摸主机系统的接驳机构,感受一下接驳机💪🔪🃙构的加🎝💀工面。
这组接驳机构的加工🎉面非常光滑,曲线度、光🖺🗧滑度通过目测应该找不出故障。
所以,许振🛃🙫鸣根本没准备用手指去体验这种异型的接驳机构。他观察了一下,然后侧过脸来问万宁🙶古:“老万,咱们可不可以用分开的模式来做光刻试验?”
万宁古闻言摇摇头,“光刻机是精密设备,两套系统一定要组装在一起工作才行。否则,光刻流片的🚑精度无🆩💌🐚法保障。”
按照他的意思,土办法是解决不了目前的测试困境,这事有点难办了。🇶🝂🈙