“老万,你怎么看?”许振鸣却没直接🝾🐲🃰回答郝宁教授,🈷🃁反而站起身🄁🝲🏃来问万宁古。
万宁古此时正用一块碎布擦着🈙⚗手上的污渍,脸上的露出犹豫不决的表情。
他有点相💖信梁宋松的判断,认为🂥🐵没有必🝾🐲🃰要再做两遍激光光路系统的测试。但这种连续做三遍激光能量测试的计划是原先预定好的,现在立即推翻的确有些过分。
更何况郝宁教授是团队里精通光学的专家,制定的计划肯定科学。他们这些外🞞🕒行人怎么能随便瞎指挥。
想到这里,他朝许振鸣苦笑道🈙⚗:“许董,我认为郝宁教授是专业人士,制定的计划应该非常专业,咱们还是按照预定好的计划来执行。”
“好!我跟你的意见一致,专业的事情应该交给专业的人去处理。”许振鸣笑道,顺手接过万古宁递来的碎🍀🄻布团。他一锤定音,解决了郝宁团队和梁宋松的意见分歧。
事实上,按照许振鸣的想法,他本来不便参与这种高精技术项目的决策。但📥郝宁教授现在要做的是🐰重复两次测试,🎡💧顶多浪费一些时间和钞票。许振鸣承受的起,一鸣集团也不缺这点资源。
更何况,郝宁教授应该不🔸🅘会无的放矢,有自己专业技术方面的考虑才是。
一念至此,许振💳鸣朝郝宁教授一挥手,“郝教授,你们团队的测试流程都要按照预定好计划来执行,不要怕花钱,我们集团公司做项目是不怕花钱的。”
“😥好的许董。”郝宁教授微笑着点🃞😷🆀点头,开始忙碌起来。
而作为项目小组的负责人,梁宋松此时有点尴尬,心里更是很难🐗⛥受,“这帮土包子不听老人言,吃亏⚮🔲就在眼前呐。”
梁宋松没说话,站在那里一会儿看看郝宁教授团队的操作情况,一会儿又🞊看看万宁古这帮人的测试流程。
这时。
万宁古的团队成员们已经把光刻机主机系统接上各种测试仪器,要立即再次检测这台主机系统🐙的重复精度、运动精度、震动量数据、功率输出数据、运行过程中的功率变化数据、电磁杂波数据等等。
这套实验测试流程,也🁎🄫🀝是刚才再三讨论过的检测技术方案。主要目的还是要看一看这台国产光刻机主机系统的各项数据,跟以前的测试报告有没有发生变化。
倘若没有发生变化,那就有点麻烦喽!
作为一鸣集团公司的重点项目,这台国🝾🐲🃰产光刻机的主机系统总装调试完成以后,其实已经测试过很多次。倘若数据不过关,项目负责人胡明镇是不会立即做光刻机总调试验的。
但😥今天上午的光刻试验中出现光刻质量缺陷,这台设🆁🌩🁴备若没出现问题,逻辑上怎么🅢也解释不清楚。
带着这种疑问,万宁古陪着许振鸣来到光刻机主机系统检测调试工作站的旁边,两眼一直盯🐁着工作站的监视器屏幕。
时间不久,他担心的事情出现了……
当这台光刻机主机系统完成一次模拟光刻♫执行程序以后,监视器显示的各项📥数据都很正常,精🐙度误差都在许可的范围之内。
“报告许董,🛼⚊🏭主机系统重复精度小于0.001毫🈂🞲😆米,数据正常。”
“报告万总,🛼⚊🏭主机📢🜟系统的震动量误差都在量级以内,不会对光刻程🄁🝲🏃序造成影响。”
“报告万总,主机系统的功率输出一直都非常稳🞊💚定,模拟光刻过程中没有出现波动现象。”
“这台设备的电磁杂波强度🚩都在量级要求范围之内,没有出现异常情况。”